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  • 原子層堆積装置 原子層堆積装置

    昭和真空の原子層堆積装置「ALD-Series」は、単原子層を1サイクルで成膜し、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成するALD(Atomic Layer Deposition)技術を用いた装置です。原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。

    対象業界: 電子部品・電気部品 光学機器・光学部品 樹脂・プラスチック・ゴム製品

    株式会社昭和真空

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