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  • 姿勢自在形複合分子ポンプ TGFシリーズ 姿勢自在形複合分子ポンプ TGFシリーズ
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    姿勢自在型複合分子ポンプ 50L/S~2400L/S 機種 TG50F/TG60F/TG70F/TG220F/TG240F/TG350F/ TG450F/TG800F/TG1100F/TG1400F/TG2400F/ TG2410F

  • 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ
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    磁気軸受形複合分子ポンプ 390L/S~2400L/S 機種 TG390M/TG420M/TG90M/TG1300M/TG2400M

  • ルーツ真空ポンプ ルーツ真空ポンプ
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    ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転させる事により 圧縮・排気を行う真空ポンプです。油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれます。ルーツ真空ポンプは通常、大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組み合わせて使用します。 90M3/H~1200M3/H 機種 RA100/RD302/RD600/RD1200/RD1500/RD2500/R6002/R12001

  • 油回転真空ポンプ 油回転真空ポンプ
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    大気圧まで圧縮できる機械式真空ポンプの中でも、油回転真空ポンプは、経済的、効率的、かつ簡易な設備で運転できるため、世界中で広く使用されています。 ポンプ単体で簡単に真空状態を得ることができるほか、ルーツ真空ポンプと組合せて大排気速度の真空ポンプユニット(真空システム)、また真空設備の粗引用ポンプとして幅広く使用されています。 このように油回転真空ポンプは幅広い用途に適合でき、自動車、金属、鉄鋼、包装、食品、医薬品、医療、電気、電子、半導体、先端研究分野まで、あらゆる真空ニーズで活躍しています。 90M3/H~1800M3/H 機種 P90/P180/P222/P450/P600/P901/K30002

  • コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkineシリーズ コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkineシリーズ
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    ●コントローラ・電源一体型:  コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計。出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要になります。面倒なケーブル引き回し作業が無くなり設置が簡単です。装置設計が自由になりコストダウンに貢献いたします。 ●バランスの良い排気性能で幅広いプロセスに適応:  広い真空領域で大流量排気が可能。優れた到達圧力高圧縮比。補助ポンプと同時起動で排気時間を短縮ができます。ロータ回転数を任意に設定可能(110~450rps)。プロセスに応じて排気能力を調整でき圧力調整バルブが不要になります。 ●省スペース化アクセス性の向上: 各種アクセス部(スイッチ、LED、ケーブル/配管接続部など)を前面に集約し作業効率改善。横、後ろの周囲スペースが削減でき装置のコンパクト化に貢献いたします。メンテナンス時のアクセスも容易です。 ●多様な通信対応:  複数の通信仕様から選択でき遠隔操作複数台制御もできます。(Parallel I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet) ●IP54標準対応:(防塵・防滴)標準対応

企業情報

株式会社 大阪真空機器製作所 株式会社 大阪真空機器製作所
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